打破国外设备厂商在高端CMP(化学机械抛光)设备的垄断、团队先后承担“十一五”及“十二五”国家科技重大专项、累计获得专利104项包括发明专利70项……近日，记者获悉，在集成电路领域创造一系列显赫成绩的华海清科(北京)科技有限公司(以下简称“华海清科”)落户经开区，计划投资8亿元建设占地4万平方米的高端装备研发及产业化项目，开展CMP设备、减薄机的研发和产业化，以及再生晶圆代工业务。

　　今年以来，经开区集成电路产业招商工作进展迅速、成果显著。除了华海清科，富创精密、北京亦盛、国望光学等6个项目也将陆续在区内落地，加上此前已经落地的江丰科技溅射靶材及关键零部件项目、北京凯德高端石英制品产业化项目和屹唐半导体集成电路装备研发制造中心等3个项目，已经有10个集成电路装备材料项目集中落地。

　　“高精尖”是10个集成电路装备材料项目共同的标签。除了打破国际垄断的华海清科以外，江丰科技的溅射靶材及关键零部件项目和北京凯德高端石英制品产业化项目，建成后将填补经开区超高纯金属靶材和集成电路用高端石英制品领域空白。而富创精密设备有限公司客户几乎涵盖所有我国IC装备制造行业的领军企业，已通过业界最权威的半导体装备厂商——美国应用材料公司、日本东京电子TEL质量体系审核，累计通过美国应材表面特殊制程认证68项，位居亚洲第一，成为国内唯一一家被世界排名前两位的装备厂商认证的战略供应商，将在区内建设国内一流的半导体装备零部件全工艺智能制造生产基地。

　　经开区在亦庄新城范围内，通过底图叠合、指标统合、政策整合，构筑各具特色、疏密有度、功能综合的十大城市功能组团，打造产业要素与城市协同发展的新型“产业社区”，实现产城良性互动。为加快培育自主的产业体系，经开区在马驹桥智造园区内规划了集成电路装备产业园，充分发挥产业“组团”优势，增强发展新动能，加紧谋划产业链的数字化转型，推动产业集聚发展。

　　集成电路产业已经成为我国长期坚持推动的国家战略任务，经开区作为全国集成电路产业聚集度最高、技术水平最先进的区域之一，现已形成以中芯国际、北方华创为龙头，包括设计、晶圆制造、封装测试、装备、零部件及材料等完备的集成电路产业链，产业规模占到北京市的一半，率先在国内建成首条12英寸集成电路晶圆生产线，一批代表企业及研究机构承接了系列国家重大科技专项任务，在关键装备及材料、先进工艺开发及产业化等方面取得一批代表国家最高水平的成果。

（文章来源：北京商报）

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